Filmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產品。R50方阻測試儀是KLA超45年電阻測量技術地位之作。電阻測量和監控對于任何使用導電薄膜的行業都至關重要，從半導體制造到可穿戴技術所需的柔性電子產品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進行了優化加強。