電子束曝光系統-上海納騰儀器有限公司

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ELS-F125/F100/HS50電子束曝光系統
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統，其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數基于ELS-F125)

更新時間：2022-06-01型號：ELS-F125/F100/HS50瀏覽量：1414

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