非接觸式優點就是測量裝置探測部分不與被測表面的直接接觸，保護了測量裝置，同時避免了與測量裝置直接接觸引入的測量誤差。 Zeta-20三維光學輪廓儀集成了六種光學計量技術。 ZDot 測量模式同時采集高分辨率 3D 掃描和真彩色無限對焦圖像。其他測量技術包括白光干涉法、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于樣品審查或自動缺陷檢測。

Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術的經濟三維光學輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測量。 我司有此機器可測樣。

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了低成本，適用于半導體，化合物半導體和相關行業。 P-170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力2D和3D測量，掃描可達200mm無需圖像拼接。結合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，有出色測量穩定性。

P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現來看， P-7具有較好的測量重復性。