脈沖激光沉積（PLD）是一種用途非常廣泛的薄膜及納米結構的制備方法。其已成功地應用于各種復雜氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制備。近年來，激光薄膜制備已發展到了分子束外延的水平，即激光分子束外延(Laser-MBE)。Laser-MBE使得激光薄膜生長達到了*的水平，如重構、雜質晶相及島狀生長等等。